在卷板機(jī)的精度從微米級(jí)到納米級(jí)的發(fā)展歷程中，有三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)無(wú)法回避，這三項(xiàng)技術(shù)也是納米精度卷板機(jī)的研究門(mén)檻。其中一項(xiàng)技術(shù)是無(wú)遲滯的軸承技術(shù)，遲滯現(xiàn)象在機(jī)械系統(tǒng)中大量存在，遲滯現(xiàn)象不僅嚴(yán)重影響卷板機(jī)溜板的運(yùn)動(dòng)定位精度和重復(fù)定位的精度，也影響運(yùn)動(dòng)的高分辨率實(shí)現(xiàn)，同時(shí)也影響精密零件的加工形狀精度以及表面粗糙度。而靜壓軸承技術(shù)可以很好地解決機(jī)械遲滯的現(xiàn)象，并且可以均化幾何誤差，在超精密卷板機(jī)中得到大量應(yīng)用。靜壓技術(shù)在過(guò)去的十年時(shí)間里取得了重大進(jìn)展，自補(bǔ)償?shù)姆答伡夹g(shù)更為成熟。以流量控制的節(jié)流技術(shù)使靜壓軸承的剛度得到很大程度的提升，使超精密卷板機(jī)加工的材料硬度不斷提高。